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137-2866-5346污染類型 | 易污染對象 | 污染原因 | 備注 |
膜后不可去小白點 | 鍍膜前wafer | 少量微顆粒膜前附著到wafer上。鍍膜時SIN層沒能渡到wafer表面,造成小白點。 | 產(chǎn)生不良片 |
氮氣不清潔(沒裝氮氣過濾器),吹出白色微小顆粒。 | 產(chǎn)生不良片 | ||
膜后可去掉小白點 | 膜后wafer | 氮氣不清潔,吹出白色顆粒(可吹掉),膜后附著到wafer上。 | 可吹掉,產(chǎn)生一定量不良片 |
膜后微顆粒附著到wafer上(可吹掉), | 可吹掉,產(chǎn)生量少不良片 | ||
白色,灰白色霧狀附著物 | 氣流片(wafer) | 特氣管道殘遇硅烷(濃度很低),隨氮氣沖出。在石墨舟出來的過程中造成明顯的氣流痕跡。 | 污染石墨舟(一般為白色,或者灰白色),產(chǎn)生大量不良片。 |
土灰色雪花狀漂浮物 | 石墨舟,wafer | 硅烷羊角閥,流量計有漏(濃度較低),直接在爐門口燃燒,產(chǎn)生白色,灰色粉塵。 | 污染石墨舟,爐管,產(chǎn)生大量不良片。 |
污染類型 | 解決措施 | 預(yù)防措施 |
膜后不可去小白點 | 清理特氣孔,吹掃特氣管道 | 制作吹掃工藝,定期進行吹掃工藝;潔凈,爐管及進出舟環(huán)境。 |
吹掃氮氣管道,跟換,安裝氮氣濾芯。 | 購買氮氣濾芯,定期更換氮氣濾芯 | |
膜后可去掉小白點 | 吹掃氮氣管道,清理,跟換,安裝氮氣濾芯。 | 購買氮氣濾芯,定期更換氮氣濾芯 |
清理特氣孔,吹掃特氣管道。 | 協(xié)助工藝去部掉出爐管15slm N2。潔凈,進出舟環(huán)境。 | |
白色,黃色 | 發(fā)現(xiàn)有異常,及時停止制程,立即測試硅烷羊角閥,流量計,發(fā)現(xiàn)有漏。及時跟換羊角閥流量計。 | 發(fā)現(xiàn)類似情況及時停止工藝制程。更換相應(yīng)備件。 |
雪花狀漂浮物 | 發(fā)現(xiàn)有異常,及時停止制程,立即排查,流量計,羊角閥。如果 | 發(fā)現(xiàn)類似情況及時停止工藝制程。更換相應(yīng)備件。 |
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