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137-2866-5346石墨舟污染分析及分類:
1.正常情況下,硅烷氨氣,在高溫,高頻光輝放電的作用下會(huì)生成一層較清潔干凈,不可擦掉的氮化硅生成物,附著在爐壁上。隨著鍍膜次數(shù)的增加,爐壁的SIN層越厚。
2.在真空及氣流的作用下會(huì)產(chǎn)生流沙一樣的土黃色的SIN小顆粒。沉積到特氣孔法蘭內(nèi),或分布于爐管的底部,及爐壁上。
3.由于氮?dú)獠磺鍧崳]有安裝氮?dú)膺^濾器),在氮?dú)夤鼙谟邪咨w粒,在充氮?dú)饣貕簳r(shí)隨氮?dú)獾綘t管,附著到wafer或許石墨舟上,形成小白點(diǎn)。
4.在工藝制程結(jié)束后特氣管道吹掃不干凈(流量計(jì)異常),有濃度較低的硅烷。在出石墨舟過程中隨氮?dú)鉀_出,在特氣孔周圍遇氧燃燒產(chǎn)生白色或許淡黃色的氧化硅霧狀附著物。
5.最嚴(yán)重的是硅烷羊角閥,或用流量計(jì)有漏,在沖N2時(shí)由于控制不好,會(huì)有濃度相對(duì)較高的SIH4漏出,在特氣孔處遇氧產(chǎn)生明火。燃燒產(chǎn)生的土灰色雪花狀漂浮物,會(huì)污染整個(gè)爐管,和石墨舟及舟內(nèi)wafer上。
根據(jù)以上分析爐管粉塵污染大致分為如下幾類:
1.石墨舟舟片上淡黃色微顆粒;
2.石墨舟舟片上可去掉,或不可去掉小白點(diǎn);
3.石墨舟舟片上黃色或者白色霧狀附著物(稱為氣流異常);
4.石墨舟舟片上雪花狀漂浮物;
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