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膜厚。沉積時(shí)間的不同膜厚也是不一樣的要根據(jù)PEVCD石墨舟鍍膜的顏色來(lái)適當(dāng)?shù)脑黾踊驕p少它的沉積時(shí)間，片子發(fā)白要減少沉積時(shí)間，如偏紅則要適當(dāng)?shù)脑黾?。每一舟片子要全面的確認(rèn)，不允許把不良品流入到下道工序，如色斑、水印鍍膜不良，應(yīng)及時(shí)挑出產(chǎn)線最常見(jiàn)的表面發(fā)白、色差、白點(diǎn)，其中表面發(fā)白主要由于氮化硅膜較厚導(dǎo)致，可通過(guò)調(diào)節(jié)膜沉積時(shí)間來(lái)調(diào)整；色差片主要由于氣路堵塞、石英管漏氣、微波故障等導(dǎo)致；白斑主要由于前道小黑點(diǎn)導(dǎo)致。反射率、折射率等的監(jiān)測(cè)、特殊氣體的安全等。
表面發(fā)白色差片白斑
PECVD石墨舟鍍膜是太陽(yáng)能電池片中比較重要的工序，也是體現(xiàn)一個(gè)企業(yè)太陽(yáng)能電池片效率的一個(gè)重要指標(biāo)，PECVD工序一般較忙，每一批電池片都需要監(jiān)測(cè)，且鍍膜爐管較多，每一管一般幾百片（視設(shè)備而定），更改工藝參數(shù)后，驗(yàn)證周期較長(zhǎng)。PEVCD石墨舟鍍膜技術(shù)是整個(gè)光伏行業(yè)比較重視的技術(shù)，太陽(yáng)能電池的效率提升可以通過(guò)PEVCD石墨舟鍍膜技術(shù)的提升來(lái)實(shí)現(xiàn)，太陽(yáng)能電池領(lǐng)域的科學(xué)家們也樂(lè)此不疲，未來(lái)太陽(yáng)能電池表面技術(shù)或許有可能成為太陽(yáng)能電池理論效率的突破口
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