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污染類型 | 易污染對象 | 污染原因 | 備注 |
膜后不可去小白點 | 鍍膜前wafer | 少量微顆粒膜前附著到wafer上。鍍膜時SIN層沒能渡到wafer表面，造成小白點。 | 產(chǎn)生不良片 |
氮氣不清潔（沒裝氮氣過濾器），吹出白色微小顆粒。 | 產(chǎn)生不良片 | ||
膜后可去掉小白點 | 膜后wafer | 氮氣不清潔，吹出白色顆粒（可吹掉），膜后附著到wafer上。 | 可吹掉，產(chǎn)生一定量不良片 |
膜后微顆粒附著到wafer上（可吹掉）， | 可吹掉，產(chǎn)生量少不良片 | ||
白色，灰白色霧狀附著物 | 氣流片（wafer） | 特氣管道殘遇硅烷（濃度很低），隨氮氣沖出。在石墨舟出來的過程中造成明顯的氣流痕跡。 | 污染石墨舟（一般為白色，或者灰白色），產(chǎn)生大量不良片。 |
土灰色雪花狀漂浮物 | 石墨舟，wafer | 硅烷羊角閥,流量計有漏（濃度較低），直接在爐門口燃燒，產(chǎn)生白色，灰色粉塵。 | 污染石墨舟，爐管，產(chǎn)生大量不良片。 |
污染類型 | 解決措施 | 預(yù)防措施 |
膜后不可去小白點 | 清理特氣孔，吹掃特氣管道 | 制作吹掃工藝，定期進行吹掃工藝；潔凈，爐管及進出舟環(huán)境。 |
吹掃氮氣管道，跟換，安裝氮氣濾芯。 | 購買氮氣濾芯，定期更換氮氣濾芯 | |
膜后可去掉小白點 | 吹掃氮氣管道，清理，跟換，安裝氮氣濾芯。 | 購買氮氣濾芯，定期更換氮氣濾芯 |
清理特氣孔，吹掃特氣管道。 | 協(xié)助工藝去部掉出爐管15slm N2。潔凈，進出舟環(huán)境。 | |
白色，黃色 | 發(fā)現(xiàn)有異常，及時停止制程，立即測試硅烷羊角閥，流量計，發(fā)現(xiàn)有漏。及時跟換羊角閥流量計。 | 發(fā)現(xiàn)類似情況及時停止工藝制程。更換相應(yīng)備件。 |
雪花狀漂浮物 | 發(fā)現(xiàn)有異常，及時停止制程，立即排查，流量計，羊角閥。如果 | 發(fā)現(xiàn)類似情況及時停止工藝制程。更換相應(yīng)備件。 |
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